我國光掩模玻璃基板的發展現狀及趨勢

作者：劉志海

摘要：1光掩模玻璃基板的定義及種類1.1光學掩模板的定義及分類1.1.1光學掩模板的定義光學掩模板,又稱光掩模板、掩模板、掩膜版、光掩膜、光刻掩膜版、光罩等,在薄膜、塑料或玻璃基體材料上制作各種功能圖形并精確定位,以便用于光致抗蝕劑涂層選擇性曝光的一種結構,是微電子制造中光刻工藝所使用的圖形母版。光掩模板應用十分廣泛,在涉及光刻工藝的領域都需要使用光掩模板,主要用于集成電路(IC)、平板顯示器(FPD)、印刷電路板(PCB)、微機電系統(MEMS)等領域。

發文機構：不詳

關鍵詞：玻璃基板光刻工藝玻璃基體光致抗蝕劑微電子制造光學掩模掩模板光掩膜

分類號： TQ171[化學工程—玻璃工業]