拉曼光譜儀在基板玻璃表面污染物分析中的應用研究

作者：王答成,劉曉芳,曾召

摘要：為分析對策基板玻璃制造后加工過程中的表面污染問題,提升產線良率,需要對表面污染物進行形貌、成分分析。對污染樣品取樣,用光學顯微鏡進行外觀形貌觀察,用拉曼光譜儀進行污染物成分分析,然后進一步分析其來源,采取針對性的對策。實踐表明:使用拉曼光譜儀在對基板玻璃表面污染物成分分析方面效果顯著,能滿足產線對表面污染物的分析要求。

發文機構：彩虹顯示器件股份有限公司電子玻璃研究院

關鍵詞：拉曼散射瑞利散射拉曼光譜污染物Raman scatteringrayleigh scattingRaman spectrumPollutants

分類號： TQ171[化學工程—玻璃工業]