碳化硅／碳復合材料的特性及其應用

作者：文虎,余克勛

摘要：用涂層和其他表面改性處理方法制取的碳化硅／碳復合材料兼有碳化硅的硬度高、耐熱性、抗磨損、耐腐蝕和碳素材料可加工性等優良特性，在滑動摩擦材料，電子元件熱處理用夾具、單晶硅提拉用加熱器、坩堝硅片外延生長用感受器、高溫材料等方面獲得廣泛應用。其應用范圍不斷擴大，被雀為劃時代的新材料。東新電碳公司于１９８３年研制成功硅化石墨Ｔ１０５６。其各項技術性能指標已達到國外同類產品水平。目前已批量生產，為我國的科研和工業生產提供了高性能材料。

關鍵詞：碳化硅碳復合材料應用特性化學氣相沉積

分類號： TQ127.11[化學工程—無機化工]