電子級多晶硅生產尾氣中無定型硅的產生原因及預防措施

作者：陳叮琳,張才剛,李有斌,俞朝

摘要：文章通過分析SiHCl3氫還原與尾氣回收工藝過程,尋找伴生無定型硅生成的客觀原因;根據無定型硅少產生、早攔截的原則,提出電子級多晶硅生產中無定型硅的預防措施,可以有效減少無定型硅的產生,提高氣相沉積過程循環氫氣純度,進而提升電子級多晶硅產品質量。

發文機構：青海黃河水電新能源分公司

關鍵詞：電子級多晶硅無定型硅預防措施electronic grade polysiliconamorphous siliconprotective measures

分類號： F42[經濟管理—產業經濟]