改良西門子工藝物料平衡的計算與分析

作者：李斌,張鐵鋒,楊楠,李壽琴

摘要：文章分析了改良西門子法制備多晶硅工藝所涉及的相關化學反應及轉化率,在此基礎上通過系統物料關系和物料守恒,建立了改良西門子工藝物料平衡的理論模型,重點討論了SiHCl3還原多晶硅轉化率、精餾SiHCl3和SiCl4的收率對物料平衡的影響。結果和方法可以為改良西門子法制備多晶硅工藝的設計和實際生產提供參考。

發文機構：四川永祥新能源有限公司 山東魯新設計工程有限公司 四川永祥股份有限公司

關鍵詞：物料平衡改良西門子法多晶硅mass balancemodified Siemens methodpolysilicon

分類號： F42[經濟管理—產業經濟]