電子級多晶硅生產中硅芯雜質的來源

作者：張才剛,俞朝,陳叮琳,李宏盼,李有斌

摘要：硅芯在制造過程中和在還原爐初期沉積過程中不同程度受到雜質的污染,本論文針對硅棒生長過程中硅芯部位雜質來源,從石墨部件、惰性氣體、硅芯制備工藝、潔凈操作等各個環節的雜質污染情況著手試驗研究,找到電子級多晶硅硅芯雜質的主要來源。

發文機構：青海黃河水電公司新能源分公司 青海省新能源材料與儲能技術重點實驗室

關鍵詞：電子級多晶硅硅芯雜質electronic grade polysiliconsilicon coreimpurities

分類號： F42[經濟管理—產業經濟]