影響尾氣回收裝置循環氫氣質量的因素分析

作者：李有斌,李宏盼,陳叮琳

摘要：改良西門子法多晶硅生產尾氣回收裝置尾氣粗分離單元、氣體輸送單元、氯化氫吸收單元、氯化氫解析單元、H2凈化單元五個單元,還原爐尾氣中雜質BC13,PC13,以及單質B,P等通過煙氣吸收、加壓冷凝,吸收解析,氫氣凈化過程中從氫氣中分離,提純后氫氣送至還原爐循環利用。文章通過分析5個單元工藝流程中可能存在問題,并提出改進方向可以提高循環氫氣雜質去除效果,保證還原爐化學氣相沉積過程中循環氫氣純度。

發文機構：青海黃河水電新能源分公司

關鍵詞：尾氣回收循環氫氣雜質

分類號： TQ1[化學工程]