黎明院承擔的國家科技重大專項通過現場測試驗收

作者：張金彪

摘要：2020年5月14日,黎明院承擔的國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備與成套工藝”之子項目“高純四氟化碳和六氟化硫研發與中試”,順利通過項目組的現場測試與評審,2項產品均滿足立項要求。黎明院首席技術官牛學坤及科技部、課題承擔相關負責人參加評審會。國家重大專項(“02”專項)項目組專項辦公室責任專家馬振宇教授牽頭,會同相關檔案、財務和電子氣體下游用戶組成驗收專家組。專家組詳細聽取了黎明院所承擔課題的進展匯報,針對項目合同規定的各項技術指標、知識產權指標、人才建設、產業化指標和經費使用情況,逐項查驗。并現場測試氣體,確認產品的實際純度。

發文機構：不詳

關鍵詞：四氟化碳成套工藝六氟化硫電子氣體制造裝備評審會經費使用情況首席技術官

分類號： F42[經濟管理—產業經濟]