電解法制備三氟化氮粗氣成分的快速分析

作者：孫曉,魏磊,酒坤,李梅,高英武,車永強

摘要：在對電解法制三氟化氮(NF3)的粗氣采樣檢測中,采用負壓式自動采樣裝置并選用合適的干燥器采樣,避免了用雙聯球采樣方式中雙聯球被腐蝕而堵塞的缺陷。實驗結果表明,采用負壓式采樣檢測可有效提高采樣效率和分析結果的準確性,且分析結果重復性良好,適用于電解法制備NF3電解槽粗氣的快速取樣分析。

發文機構：洛陽黎明大成氟化工有限公司

關鍵詞：三氟化氮粗氣負壓式自動采樣裝置快速取樣crude nitrogen trifluoride gasnegative pressure type automatic sampling devicerapid sampling

分類號： TQ124.3[化學工程—無機化工]