飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)分析技術

作者：李展平

摘要：飛行時間二次離子質譜(TOF-SIMS)是目前應用最廣泛的表面分析技術之一,是一種具有高質量分辨本領(質量分辨率)和高空間分辨(空間分辨率)的表面分析技術,適用于有機、無機、生物、醫學、電子、地質/考古、環境等各種領域的各種固體材料的分析。本文對TOF-SIMS分析技術的發展、原理、基本構成、特點和應用領域等方面做了全面介紹。

發文機構：有機光電子與分子工程教育部重點實驗室

關鍵詞：TOF-SIMS表面分析固體材料分析TOF-SIMSsurface analysissolid material analysis

分類號： P575.9[天文地球—礦物學]