聚焦離子束顯微鏡技術及其在地球和行星科學研究中的應用

作者：谷立新,李金華

摘要：聚焦離子束-掃描電子顯微鏡作為重要的微納米尺度精細加工、微小樣品制備和微區原位顯微分析設備,與其他高精尖顯微分析儀器(如透射電鏡、離子探針、原子探針和同步輻射等)配合使用,可為納米地球科學發展提供重要技術支撐。本文在簡要介紹聚焦離子束-掃描電鏡技術的原理、功能和技術發展的基礎上,重點展示該技術在加工制備透射電鏡超薄片樣品和原子探針針尖樣品中的應用,以及在代表性地學樣品(如礦化微生物和頁巖等)樣品三維重構成像分析上的應用。最后,分析了該技術的未來發展趨勢,并對它在地球和行星科學研究中的注意事項進行了初步探討。

發文機構：中國科學院地質與地球物理研究所 中國科學院地球科學研究院

關鍵詞：聚焦離子束掃描電鏡透射電鏡原子探針納米地球科學行星科學focused ion beamscanning electron microscopytransmission electron microscopyatom probenanogeoscienceplanetary science

分類號： P585.1[天文地球—巖石學]