摘要:Dyneon PFA—FlexUHP是超高純度PFA含氟聚合物的新增系列品種,設計用于半導體加工的管道系統。隨著在這些應用中越來越多地采用含氟表面活性劑作為潤濕劑,也就需要材料的耐環境應力開裂性能得到提高。
關鍵詞:應力開裂FPA含氟表面活性劑含氟聚合物半導體加工超高純度管道系統開裂性能
分類號: TQ325.12[化學工程—合成樹脂塑料工業]TN215[電子電信—物理電子學]