微細加工技術
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《微細加工技術》雜志是由國家新聞出版總署批準，信息產業部主管， 中國電子科技集團公司第48研究所主辦的國內外公開發行的國家級期刊微電子學與固體電子學類學術期刊。 微細加工技術期刊的創辦時間為1983年，出版周期為雙月刊。期刊的國內統一刊號：43-1140/TN，國際標準刊號：1003-8213。
《微細加工技術》創刊于1983年，是國家科委和國家新聞出版署批準，國內外公開發行的中央級重要科技期刊。是國家一級檢索刊物，已連續9年被美國工程信息公司Ei數據庫收錄，是《中國期刊網》、《中國學術期刊（光盤版）》、《中國學術期刊綜合評價數據庫》全文收錄用刊，是《中國科學引文數據庫》來源期刊。
| 年限 | 2012 | 2013 | 2014 | 2015 | 2016 | 2017 | 2018 | 2019 | 2020 | 2021 |
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| 發文量 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 被引次數 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 | 0 |
| 序號 | 主題名稱 | 相關發文量 | 相關發文學者 |
|---|---|---|---|
| 1 | 光刻 | 152 | 姚漢民 馮伯儒 李艷秋 謝常青 胡松 |
| 2 | 離子注入 | 105 | 張通和 楊建華 顏亨迪 張薈星 陳林 |
| 3 | 電子束曝光 | 78 | 顧文琪 陳寶欽 張福安 陳振生 薛虹 |
| 4 | 刻蝕 | 75 | 徐向東 蔡炳初 田揚超 朱效立 丁桂甫 |
| 5 | 半導體 | 72 | 郭華聰 覃志國 張鵬飛 程仲元 顏亨迪 |
| 6 | 電路 | 67 | 姚漢民 馮伯儒 郭華聰 覃志國 陳旭南 |
| 7 | 微細 | 65 | 王振龍 趙萬生 俞學東 王學超 伊福廷 |
| 8 | 集成電路 | 61 | 姚漢民 馮伯儒 郭華聰 覃志國 陳旭南 |
| 9 | 微細加工 | 59 | 俞學東 王學超 伊福廷 畢建華 周光亞 |
| 10 | 曝光機 | 56 | 陳振生 顧文琪 魏守水 張福安 薛虹 |
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