摘要:坐落在蘇州高新區環保產業同的蘇州納迪微電子有限公司通過自主創新,研制開發出了一系列科技含量極高的微電子化工材料,其中“電子級超高純硅溶膠”產品為國內首創,主要用于芯片工藝的Cu-CMP、硅晶圓片的最后一步拋光及高級彩色激光打印紙的表面處理等工序中,受到了市場青睞。
關鍵詞:蘇州高新區國內首創硅溶膠超高純電子化工材料Cu-CMP自主創新環保產業
分類號: TQ638[化學工程—精細化工]X196[環境科學與工程—環境科學]