首個高純微電子化學品項目投產

摘要：經過一年多的建設，年產15000噸的我國首個超凈高純微電子化學品項目于2006年9月在上海華誼微電子材料有限公司建成投產。項目包括了大規模集成電路制造所需的超凈高純硫酸、硝酸、鹽酸、醋酸、氨水、氫氧化銨、雙氧水等各種主要化學品，改變了國內此類產品完全依賴進口的狀況。

關鍵詞：電子化學品項目高純投產集成電路制造微電子材料氫氧化銨雙氧水

分類號： TQ133.1[化學工程—無機化工]