四氟化硅

摘要：1 SiF4的應用及經濟概況 四氟化硅在電子和半導體行業中主要用于氮化硅、硅化鉭等的蝕刻劑、P型摻雜劑、外延沉積擴散硅源等．還可用于制備電子級硅烷或硅。四氟化硅還可用作光導纖維用高純石英玻璃的原料．它在高溫火焰中水解可產生具有高比表面積的熱沉二氧化硅。此外，四氟化硅還廣泛用在制備太陽能電池、氟硅酸和氟化鋁、化學分析、氟化劑．油井鉆探、鎂合金澆鑄、催化劑、蒸熏劑、水泥及人造大理石的硬化劑等。在預制水泥中使用四氟化硅后．可增進其耐蝕性和耐磨性．改善其孔隙度和增加壓縮強度。

關鍵詞：四氟化硅半導體行業高比表面積太陽能電池人造大理石二氧化硅高溫火焰石英玻璃

分類號： TQ219[化學工程—有機化工]