高純電子特氣六氟丁二烯的純化技術進展

作者：李瑜哲,張智勇,艾波,吳高勝,許保云

摘要：六氟丁二烯是一種新型的含氟電子氣體,具有優異的蝕刻性能,且更加環保。簡述了六氟丁二烯的物理性質、蝕刻特點和產品規范,詳細介紹了國內外六氟丁二烯純化技術的進展。

發文機構：上海化工研究院有限公司 上海三愛富新材料科技有限公司

關鍵詞：六氟丁二烯蝕刻純化性質進展hexafluoro-1,3-butadieneetchingpurificationpropertydevelpoment

分類號： TQ2[化學工程—有機化工]