高純氟化氫中微量雜質氣體測定

作者：鐘軍,李軍,夏添,李永義

摘要：采用氣相色譜分析系統,建立了一種精準測定高純氟化氫(HF)中微量雜質氣體的方法。以高純氦為載氣,高純HF經專用除水裝置除水、預分離柱分離、反吹處理,氣體雜質通過分子篩柱和Hayesep柱分離后進入氦放電離子化檢測器(DID),用外標法定量分析微量雜質組分H2、O2+Ar、N2、CH4、CO和CO2,體積分數檢出限可達10^-8,相對標準偏差(RSD)<5%。該方法準確、可靠、精密度好,能夠精準檢測HF氣體中的微量氣體雜質。

發文機構：衢州市氟硅技術研究院 浙江博瑞電子科技有限公司 愛爾蘭AGC儀器有限公司北京代表處

關鍵詞：高純氟化氫氣相色譜雜質分析high purity hydrogen fluoridegas chromatographyimpuritiesdetermination

分類號： O65[理學—分析化學]