• 有機硅氟資訊 · 2009年第11期 77-79,共3頁

    多晶硅生產工藝“群雄逐鹿”

    摘要:在經濟不景氣、錢不好賺的時候,多晶硅企業開始把更多的精力放在產品技術升級和提升質量上。據了解,改良西門子法生產多晶硅占壟斷地位的局面不久將發生改變,多晶硅生產工藝未來將形成改良西門子法、新硅烷法、流化床法、冶金法、無氯法、碳熱還原法等諸多方法“群雄逐鹿”的局面。

    關鍵詞:生產工藝多晶硅鹿碳熱還原法技術升級流化床法西門子硅烷法

    分類號: TQ174.758[化學工程—陶瓷工業][化學工程—硅酸鹽工業]TN304.12[電子電信—物理電子學]

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