氮化硅滾子化學機械復合拋光工藝參數與表面粗糙度的關系

作者：譚曉媛

摘要：為優化氮化硅陶瓷滾子化學機械復合拋光技術工藝參數,得到高性能氮化硅陶瓷滾子。通過改變拋光機主軸轉速及磁流變拋光液溫度,探究各參數對氮化硅陶瓷滾子表面粗糙的影響,并獲得各參數對表面粗糙度的影響曲線。總結對應影響規律,結果表明:隨著主軸轉速的增大,氮化硅陶瓷滾子表面粗糙度逐漸減小,且變化率逐漸減小;當其他條件不變時,磁流變拋光液溫度對氮化硅陶瓷滾子表面粗糙度影響不大,保持在0.035μm左右。

發文機構：贛南師范大學化學化工學院

關鍵詞：氮化硅陶瓷滾子化學機械復合拋光粗糙度Silicon Nitride ceramic rollerchemical machinerycompound polishingroughness

分類號： TQ174.75[化學工程—陶瓷工業]