電子玻璃基板再熱收縮率測試方法綜述

作者：王偉來,田英良,陳鑫鑫,劉亞茹,王為,孫詩兵,呂鋒

摘要：電子玻璃基板是平板顯示關鍵基礎材料,隨著信息顯示產業的發展,TFT-LCD、OLED等顯示產品在玻璃表面鍍膜刻蝕形成的半導體控制電路越來越精細,在低于玻璃應變點溫度進行熱處理加工,會導致玻璃結構致密化,使玻璃基板產生收縮效應,稱為“再熱收縮”。重點介紹了電子玻璃基板再熱收縮率7種測試表征方法,包括密度法、拉絲法、模擬法、比長法、壓痕法、膨脹儀法和激光法,并且對每種方法的測試原理、優缺點進行分析和闡述,綜合而言,比長法和膨脹儀法可用于測量精度要求不高的玻璃品種,而激光法是最為精確和可靠的測量方法,可滿足LTPS制程玻璃品種的再熱收縮率測量。

發文機構：北京工業大學材料科學與工程學院 平板顯示玻璃技術和裝備國家工程實驗室 國家玻璃器皿產品質量監督檢驗中心

關鍵詞：電子玻璃再熱收縮率收縮效應測試方法膨脹儀法激光法electronic glassreheating shrinkage rateshrinkage effecttest methoddilatometer methodlaser method

分類號： TQ171.73[化學工程—玻璃工業]