超高純氘氣的氣相色譜分析方法研究

作者：李國偉,楊獻奎,張長金,楊萬吉,鄭秋艷

摘要：對于半導體行業用超高純氘氣現無完善的分析方法。實驗建立了一種基于低溫氣相色譜-脈沖放電檢測器的超高純氘氣的分析方法。采用中心切割與柱切換技術設計了一套分析系統,可以同時對氘氣中的O2、N2、CO、CO2、CH4、H2、HD進行分析。通過實驗確定了色譜的最佳工作參數和切閥時間。結果表明,該分析方法結果穩定、重現性高,可以適用于工業檢驗。

發文機構：中國船舶集團有限公司第七一八研究所

關鍵詞：氘氣氫同位素氣相色譜deuteriumhydrogen isotopegas chromatography

分類號： TQ117[化學工程—無機化工]O657.7[理學—分析化學]