一種電子級高純氯化氫制備單元

摘要：申請(專利)號:201921085035.4公開(公告)日:2020-04-07申請(專利權)人:金宏氣體電子材料(淮安)有限責任公司摘要:本實用新型公開了一種電子級高純氯化氫制備單元,包括原料氣源、第一氣體壓縮輸送設備、干燥器、第二氣體壓縮輸送設備、脫輕精餾塔、脫重精餾塔、成品罐、回收精餾塔、升壓汽化器以及鋼瓶。

關鍵詞：氣體壓縮輸送設備精餾塔汽化器實用新型干燥器

分類號： TQ0[化學工程]