高純氣體中微量雜質分析方法

作者：單靜,王瑩,王杰,靳鵬杰,吉雪霞

摘要：主要概述了高純氣體中微量水、微量氧、碳氧化物和碳氫化合物含量的測試方法、原理、分析注意事項,并就當前化驗工作現狀,歸納出了微量雜質分析存在的不足以及今后的發展重點。

發文機構：中國酒泉衛星發射中心

關鍵詞：高純氣體微量水微量氧碳氧化物和碳氫化合物含量high purity gastrace watertrace oxygencarbon oxide and hydrocarbon content

分類號： TQ116.02[化學工程—無機化工]