一種半導體制程特種氣體輸送管道的檢漏裝置

摘要：申請(專利)號:CN202020316318.1,公開(公告)日:2020-10-27,申請(專權)人:天蘇州銳澤系統工程有限公司,摘要:本實用新型公開了一種半導體制程特種氣體輸送管道的檢漏裝置,包括工作臺、氣泵和液壓缸,工作臺的上端固定連接有兩塊側板,氣泵和液壓缸均固定安裝于其中一塊側板的一端側壁上,液壓缸的一端固定連接有連接板,連接板內設有腔室,氣泵的出氣端與腔室的頂部連通設置,其中一塊側板與腔室的相對側壁上均連通設有多個一一對應設置的通氣孔,多個通氣孔內均安裝有防塵板,兩端對應設置的防塵板的相對側壁上均固定連接有多根限位桿,側板上的多個通氣孔的一端均連通設有彈性氣囊。

關鍵詞：防塵板連接板實用新型檢漏裝置液壓缸系統工程固定連接通氣孔

分類號： F42[經濟管理—產業經濟]