電子級氯化氫精制工藝的研究進展

作者：曾曉國,李陽,張偉,張曉偉

摘要：電子級氯化氫是電子工業常用的高純化學氣體,隨著集成電路的快速發展,對氯化氫的雜質含量要求越來越嚴格。簡述了電子級氯化氫的主要用途和現狀,簡介了工業級氯化氫的生產方法,介紹了電子級氯化氫生產過程中各種精制方法及其研究進展,主要是低溫精餾法、吸附法和化學反應法。最后對三種方法進行了討論和對比,指出了精制工藝的研究重點是針對其中不同的微量雜質選用不同的工藝或工藝組合,并展望了電子級氯化氫的國產化前景。

發文機構：中國恩菲工程技術有限公司 洛陽中硅高科技有限公司

關鍵詞：氯化氫電子級氯化氫精制提純hydrogen chlorideelectronic grade hydrogen chloriderefiningpurification

分類號： TQ124.42[化學工程—無機化工]TQ110.6