一種制備ppbv級水分雜質的電子級氯化氫氣體的方法

摘要：申請(專利)號:201811415776.4公開(公告)日:2020-04-10申請(專利權)人:浙江博瑞電子科技有限公司摘要:本發明涉及高純氣體制備領域,具體關于一種制備ppbv級水分雜質的電子級氯化氫氣體的方法;本發明方法公開的一種制備ppbv級水分雜質的電子級氯化氫氣體的方法,本方法采用一種反應氣體來吸收氯化氫中殘存中的水,本方法中的反應氣體與微量的水反應生產二氧化硅、硼酸和氫氣等易于除去的組分。

關鍵詞：氯化氫氣體反應氣體高純氣體二氧化硅電子科技硼酸雜質

分類號： TQ1[化學工程]