一種6N級高純四氟化硅自動化純化裝置

摘要：申請(專利)號:CN201922368735.0,公開(公告)日:2020-11-24,申請(專權)人:中船重工(邯鄲)派瑞特種氣體有限公司,摘要:本實用新型公開了一種6N級高純四氟化硅自動化純化裝置,屬于氣體純化技術領域。所述裝置包括:吸附塔、除輕塔、除重塔、氣體檢測器、信號接收及反饋裝置、控制器,循環管路、充裝氣動閥門、循環氣動閥門、充裝鋼瓶和原料鋼瓶。

關鍵詞：四氟化硅氣動閥門氣體檢測器實用新型循環管路特種氣體反饋裝置氣體純化

分類號： F42[經濟管理—產業經濟]