非晶態Si3N4結晶及α-Si3N4晶種的調控結晶行為

作者：胡尊蘭,謝志鵬,康國興,劉潔,顏強

摘要：采用液相界面反應法制備高α相的Si3N4粉體。以SiCl4為硅源,液氨為氮源,甲苯為溶劑,通過液相界面法合成硅亞胺,硅亞胺在1 000℃分解為非晶態Si3N4粉體,在1 550℃晶化為α-Si3N4粉體。研究了非晶態Si3N4的晶化過程,并討論了添加α-Si3N4晶種對非晶態Si3N4結晶過程的影響。結果表明:晶核從具有短枝狀結構的非晶態Si3N4團聚體的表面和內部形成,進而生長成為α-Si3N4晶粒;添加α-Si3N4晶種,能夠增加形核數量,加快了非晶態Si3N4向α-Si3N4的結晶轉變,有效地提高了晶化質量。

發文機構：清華大學 株洲湘火炬火花塞有限責任公司

關鍵詞：液相法非晶態氮化硅晶種結晶行為liquid–liquid methodamorphous silicon nitrideα-silicon nitridecrystal seedscrystallization behavour

分類號： TQ127.2[化學工程—無機化工]