動態離子交換法處理電子行業蝕刻含鋁廢酸工藝研究

作者：吳趙敏,楊林,王辛龍,莊海波,葉潤洲,王燁,李耀基

摘要：大屏幕液晶顯示器和集成電路等微電子工業的濕法蝕刻和濕法清洗工藝以電子級磷酸為原料,會產生大量含鋁離子的磷酸廢液。用陽離子交換樹脂(Zminw-0705)對該磷酸廢液在動態情況下做了處理,研究了動態情況下設備參數和操作參數對吸附效果的影響。采用傅里葉紅外光譜法和X射線光電子能譜對吸附前后的樹脂做了表征,驗證了吸附反應的發生。用模型對動態吸附過程做了擬合,實際吸附量與理論吸附量比較接近,相關系數均在0.92以上。結果表明:在其他條件相同的情況下,150∶8為離子交換柱適宜長徑比;適宜溫度范圍為45~55℃;適宜進料流速為4.67 mL/min;廢酸的磷酸濃度和鋁離子也在適合的操作范圍內。

發文機構：四川大學化學工程學院教育部磷資源綜合利用與清潔加工工程研究中心 云天化集團有限責任公司

關鍵詞：陽離子交換樹脂動態吸附模型擬合含鋁廢酸cation exchange resindynamic adsorptionmodel fittingwaste acid containing aluminum

分類號： TQ126.35[化學工程—無機化工]