高效節能精餾技術在三氯氫硅提純中的應用

作者：王永亮,沈峰,楊偉強

摘要：綜述了不同精餾技術在三氯氫硅提純中的應用,并對多效精餾技術、精餾熱耦合技術、隔壁塔精餾技術等高效節能精餾技術進行探討,并針對不同高效節能精餾技術優缺點進行對比分析。

發文機構：新疆協鑫新能源材料科技有限公司

關鍵詞：高效節能多效精餾精餾熱耦合隔壁塔精餾三氯氫硅high efficiency and energy savingmultiple effect rectificationthermal coupling of rectificationadjoining column rectificationtrichlorosilane

分類號： TQ264.11[化學工程—有機化工]