T2紫銅平面微彈簧疲勞性能研究

作者：劉鴻志,詹曉非

摘要：平面微彈簧是微機電系統(MEMS)傳遞機械能和彈性力的關鍵結構,其疲勞性能直接關系到微機電系統的穩定性和可靠性。制備了線寬0.5 mm的軋制態紫銅平面微彈簧,研究了坯料纖維組織初始角度、厚度和預熱處理溫度對微彈簧疲勞性能的影響。結果表明:采用軋制獲得的纖維組織坯料和適當的纖維組織初始角度,可制備出疲勞性能優于坯料組織為等軸晶的微彈簧,且當初始角度提高至90°時,疲勞性能改善效果最好;厚度越小,失效循環次數越低;預熱處理溫度增大,等軸晶坯料晶粒尺寸越大,微彈簧疲勞性能越低。

發文機構：南京理工大學材料科學與工程學院

關鍵詞：T2紫銅平面微彈簧微擠壓纖維組織疲勞性能T2 copperplanar micro-springmicro-extrusionfiber structurefatigue properties

分類號： TG146.1[金屬學及工藝—金屬材料]