基于AHP和規則的多目標晶圓制造派工方法的應用

作者：全鵬,李娜,江志斌,閔亞能

摘要：針對半導體晶圓制造系統調度的時變多目標特性,提出基于AHP和規則的多目標派工方法,在不同時期,賦予各調度目標不同的權重,通過仿真實驗得到判斷矩陣,然后用層次分析法來選擇各設備的派工規則,并進行了敏感性分析,為半導體晶圓制造系統的科學管理提供了有效的實現途徑。

發文機構：上海先進半導體制造股份有限公司 上海交通大學機械與動力工程學院

關鍵詞：晶圓制造時變多目標派工規則層次分析法wafer fabricationtime-variable multi-objectivedispatching ruleanalytic hierarchy process

分類號： F406[經濟管理—產業經濟]