基于粒子群算法的半導體制造設備預維修調度

作者：馬慧民,許圣良,葉春明,張爽

摘要：對半導體制造設備的預維修調度問題進行了研究，建立了半導體制造設備預維修調度的數學模型，分別提出了用于求解該問題的啟發式方法和粒子群算法方案，闡明了兩種算法方案的具體實現過程。通過對仿真實例進行計算和結果比較，表明了粒子群算法優于啟發式方法，取得了不錯的優化效果。

發文機構：上海電機學院經濟管理學院 上海理工大學管理學院

關鍵詞：半導體設備預維修調度二進制粒子群算法先來先服務semiconductor equipmentpredicted maintenance schedulingparticle swarmoptimizationFIFO

分類號： TP29[自動化與計算機技術—控制科學與工程][自動化與計算機技術—檢測技術與自動化裝置]