微電子制造學報
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《微電子制造學報》雜志是由國家新聞出版總署批準，中國科學院主管， 中國科學院微電子研究所主辦的國內外公開發行的國家級期刊微電子學與固體電子學類學術期刊。 微電子制造學報期刊的創辦時間為2018年，出版周期為季刊。期刊的國內統一刊號：null，國際標準刊號：2578-3769。
Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM）是由中國科學院微電子研究所、國科大微電子學院聯合創辦的國際全英文學術期刊，旨在發表集成電路制造領域中從基礎研究階段到工業大規模量產階段的研究成果，內容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。
| 序號 | 主題名稱 | 相關發文量 | 相關發文學者 |
|---|---|---|---|
| 1 | LITHOGRAPHY | 13 | |
| 2 | INDUSTRY | 8 | |
| 3 | EUV | 6 | |
| 4 | MASK | 5 | |
| 5 | SEMICONDUCTOR | 5 | |
| 6 | METROLOGY | 5 | |
| 7 | NAND | 5 | |
| 8 | IN_CHINA | 5 | |
| 9 | CIRCUIT | 4 | |
| 10 | MANUFACTURING | 4 |
1、來稿內容題材新穎、結構嚴謹、文字凝練、闡論精辟，有一定理論水平和學術價值。文稿字數2000字以上，要有中文標題、關鍵詞、摘要。
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