微電子制造學報地址在北京市北土城西路3號中科院微電子研究所,主編:葉天春,郵編:100029
微電子制造學報簡介
Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM)是由中國科學院微電子研究所、國科大微電子學院聯合創辦的國際全英文學術期刊,旨在發表集成電路制造領域中從基礎研究階段到工業大規模量產階段的研究成果,內容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。


