微電子制造學報是國家級期刊,創立于2018年,由中國科學院微電子研究所主辦,中國科學院主管,期刊欄目包含:。
微電子制造學報簡介
Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM)是由中國科學院微電子研究所、國科大微電子學院聯合創辦的國際全英文學術期刊,旨在發表集成電路制造領域中從基礎研究階段到工業大規模量產階段的研究成果,內容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。


