微電子制造學報是由國家新聞出版總署備案的刊物,擁有國內國際雙刊號,國內刊號:null,國際刊號:2578-3769,由中國科學院微電子研究所,2018創刊。以為主要征稿方向。
微電子制造學報簡介
Journal of Microelectronic Manufacturing (JoMM)是由中國科學院微電子研究所、國科大微電子學院聯合創辦的國際全英文學術期刊,旨在發表集成電路制造領域中從基礎研究階段到工業大規模量產階段的研究成果,內容包括但不限于Design、Process、Metrology & Yield Control、Packaging、Materials、Equipment 等方面。


